产品定义
用于晶片的静电卡盘用于各种半导体工艺中，以在处理过程中保持晶片。静电卡盘采用带有集成电极的压板，这些电极被高压偏压以在压板和晶片之间建立静电保持力，从而夹住晶片。
市场综述
晶圆静电卡盘的机遇
全球巨大的下游市场，积极的国家产业政策和积极的社会资本，正从各个角度支持晶圆行业的发展，共同推动晶圆静电卡盘等半导体配套设备的稳步发展。发展和增长创造了机会。
晶圆静电卡盘的风险
许多发展中国家的晶圆工业静电卡盘的开发时间很短，目前处于起步阶段，市场竞争力较弱。除少数国际巨头外，大多数其他公司仍处于研发阶段。此外，这些公司目前只能维修和更换晶圆的静电卡盘，而在生产方面还不成熟。
晶圆静电吸盘的驱动力
市场对智能手机、平板电脑和其他电子设备等消费电子产品的需求不断增长，是全球晶圆静电吸盘市场快速增长的主要原因之一。由于对消费电子设备的需求不断增长，全球范围内的晶圆电子工厂数量有所增加。不同电子设备中不断变化的晶片质量和防尘要求。这也增加了对晶片静电卡盘的需求。
地区概览
亚太地区是所有地区中增长率最高的地区。
企业概览
SHINKO是晶圆静电卡盘市场的主要运营商之一，2020年占有28.60%的份额。
SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO.，LTD.是一家总部位于日本的半导体封装制造商。公司通过两个业务部门运营。塑料包装部门从事塑料层压包装（PLP）的开发、制造和销售，以及集成电路（IC）的组装和销售。金属封装部门生产和销售半导体引线框架、半导体玻璃到金属密封件、散热器和陶瓷静电卡盘等。
Applied Materials是材料工程解决方案的领导者，用于生产世界上几乎所有新芯片和先进显示器。他们在原子水平和工业规模上改造材料的专业知识使客户能够将可能性转化为现实。他们的创新使技术塑造未来成为可能。
分类概览
在不同的产品类型中，库仑型静电卡盘细分市场预计将在2027年占据最大的市场份额。
库仑型静电吸盘被认为是下一代极紫外光刻的关键技术。在真空中的制造过程中，静电压力保持光掩模。库仑型的场强低于J-R型，因为其介电厚度更厚。泄漏电流很小，因为介电层的电阻很高，所以介电层中的电压降几乎与源电压相同。这种类型的优点之一是，由于电荷只是由电场感应的，所以在施加的电压被切断之后，可以相对更容易地消除残余夹持力。
与库仑型相比，Johnsen Rahbek（JR）型静电卡盘表现出一些优异的性能。这种优势体现在给定夹持电压的更强夹持力（或给定夹持力所需的更低夹持电压），以及电介质制造的宽松材料和加工标准。更强的夹紧力可以加载更高的背压；因此可以实现更高的传热能力。
下游应用概览
从应用来看，2017年至2022年，300mm晶圆细分市场占据了最大份额。
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http://www.lstxf.com/reports/1026634-electrostatic-chucks-for-wafer-market-report.html
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